北京第三代半导体工业技能立异战略联盟对《碳化硅单晶成长用等静压石墨构件纯度测定 辉光放电质谱法》等2项集体规范征求意见

　　赛迈科公司牵头拟定的两项CASA规范草案面向成员单位征求意见，触及碳化硅单晶成长用等静压石墨构件的纯度测定办法和产品技能要求。

　　由赛迈科先进资料股份有限公司牵头起草的规范T/CASAS 036—202X《碳化硅单晶成长用等静压石墨构件纯度测定 辉光放电质谱法》、T/CASAS 048—202X《碳化硅单晶成长用等静压石墨》已构成征求意见稿，为确保规范的科学性、先进性和适用性，现面向CASA成员单位征求意见。

　　T/CASAS 036—202X《碳化硅单晶成长用等静压石墨构件纯度测定 辉光放电质谱法》规矩了选用辉光放电质谱法测定等静压石墨构件纯度的办法，包含术语和界说、实验原理、实验环境、仪器设备、试剂与资料、试样、实验过程、实验成果及实验报告。

　　本文件适用于单个杂质元素含量规模为0.01mg/kg～5mg/kg的碳化硅单晶成长用等静压石墨构件纯度的测定，所述构件包含碳化硅单晶成长炉中的加热器、坩埚、籽晶托等内部构件。碳化硅粉体组成用加热器、坩埚等石墨热场部件，以及碳化硅外延成长用石墨基材的纯度测定可参阅本文件。

　　T/CASAS 048—202X《碳化硅单晶成长用等静压石墨》描绘了碳化硅单晶成长用等静压石墨的技能方面的要求、实验办法、查验规矩、标识、包装、运送和储存等。

　　本文件适用于纯度要求到达5N5（质量分数99.9995%）以上的碳化硅单晶成长用或碳化硅粉体组成用等静压石墨，包含碳化硅单晶成长用加热器、坩埚、籽晶托等内部构件，以及碳化硅粉体组成用加热器、坩埚等石墨热场部件。

　　请于2024年8月24日前填写《CASA规范文件征求意见表》反应至联盟秘书处。

　　TCASAS 036 碳化硅单晶成长用等静压石墨构件纯度测定办法  辉光放电质谱法-征求意见稿.pdf

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